光谱椭偏仪
说明：光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量设备。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。最常用的是用来测量薄膜的厚度。还可以用来探测薄膜或大块材料的光学常数。同时，还能够测量其他材料的属性，包括表面和界面的粗糙度、结晶度、金属和杂质浓度、光学各向异性以及其他影响材料光学常数的特性。
服务领域：测量薄膜膜厚及其光学性质，包括折射率、消光系数、吸收系数、复介电函数等，测定材料的多层结构和表面粗糙度无损地研究与气态、液态周围媒质接触的表面分子或原子的物理、化学吸附状态。研究固体的辐射探伤，表征介电材料和半导体材料制备过程中造成的表面机械损伤。
