说明：使用X射线照射样品，对产生的荧光X射线的能量进行检测，测定构成样品的元素种类及含量。可无损地进行固体、粉体、液体、磁盘、单晶片等的元素分析，广泛应用于各个领域。
应用领域：迅速测定ppm级的有害金属，应用于以欧盟的报废电子电气设备指令（WEEE）、电子电气设备所含特定有害物质限制使用指令（RoHS）、报废汽车指令以及玩具指令等法规为代表的绿色采购及环境分析之中，分析更为微量、更为迅速。
